第84章 （五千更）

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火车上，唐溪也没闲着，仍旧拿着笔仔细修改着设计图。

光刻机设计图唐溪只画了前面一部分，而且需要反复修改的地方都挺多，后续设计图唐溪还没画。

光刻机的设计图比之前的机床设计图要复杂多了，而且所接触的技术也都不一样，这难度自然就增加了。

结构方面光刻机就很复杂，其中包括照明系统，镜头组，性能指标，基片尺寸范围，分辨率，对准精度，曝光方式，光源波长，光强均匀性，还有最重要的生产效率。

内部封闭框架，也分为很多，能量探测，掩模板、掩模台，物镜，曝光台，减震装置，然后是硅片，测量台，分散到测量设备。还有遮光器，光束形状设置，能量的控制，光束的矫正，以及激光器。

这里边这么多东西，无论哪一步都是需要慢慢来摸索的，设计图也不是画出来就一定能顺利研发，后期研发当中遇到问题需要修改，然后重新设计某一部分。

如果光刻机那么容易搞出来，那么在后世，光刻技术也就不会停止20年才进步了。

伴随着哐哐哐的火车声，唐溪这一次待在车厢都没出去，几乎在车厢里修改设计图，累了直接躺下休息，醒了继续倒腾设计图。

夜晚七点，火车抵达京市。

伴随着呜呜呜的火车鸣笛声，几分钟之后火车停了下来。

几人没什么行李，就几件衣服以及唐溪的设计图，这些东西唐溪都自己拿着下了火车。

随着人群走出车厢，唐溪抬头朝着出站口那边看过去，果不其然看到了张天华还有他身边的薛宁远教授。

不远处两人也看到了唐溪，一起朝着这边方向挥手。

看着两位老前辈这可爱挥手的动作，唐溪忍不住露出一抹笑容。

抬脚朝着他们那边走过去，到了他们跟前儿，唐溪开口打招呼：“张院，薛教授。”

“哈哈哈，唐溪，这次咱们又可以一起工作了。”薛宁远笑呵呵开口，打量唐溪一会儿，视线最终落在唐溪手上的包包上，凑近一点距离，压低嗓音开口问道：”设计图出来了没有？”

“画了一部分，还需要修改。”唐溪也小声回了一句。

瞅着一老一小说那什么接头似的说悄悄话，张天华笑了，开口：“好了好了，出去说，这儿说话不方便。”

“对对对，出去说，一会儿唐溪你回家还是回去咱们院？”薛宁远再次问道。

“先过去院里吧，时间还早